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全自動真空無氧烤箱

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更新時間：2026-04-28 11:46:52瀏覽次數(shù)：69次

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合肥真萍電子科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：32條

所在地區(qū)：安徽合肥市

聯(lián)系人：張經(jīng)理

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品用途：真空面向是晶圓和封裝段應(yīng)用于低溫烘烤，烘干，除水。

詳細介紹

技術(shù)參數(shù)：

型號	TASZ3050D203-N		TASZ3050D403-N
產(chǎn)品特點	可搭載OHT實現(xiàn)無人化操作，節(jié)省空間，真空下低溫烘烤縮短工藝時間，產(chǎn)品保護產(chǎn)品性能提升。
氧氣含量	50PPM	工藝溫度		室溫+30-300℃
產(chǎn)品規(guī)格	8/12inch 晶圓	存放數(shù)量		50PCS/管
加熱器	熱電阻加熱
上料口	2個	機械手		1
溫度范圍	長期使用溫度: 200℃，溫度：300℃
升溫速率	1~5℃/min	降溫速率		3℃/min
加熱功率	22KW	加熱溫區(qū)		3個
爐溫均勻性	±3℃	控溫?zé)崤?/span>		K分度
溫度控制方式	SSR	程序控制		P.I.D控制
爐腔材料	SUS316L	保溫材料		陶瓷纖維
氣氛控制	多路流量計調(diào)節(jié)進氣	氣氛		N2
真空度	≤10pa
潔凈度	Class 100	翹曲度		12寸翹曲度≤2mm； 8寸翹曲度≤1mm