一、產(chǎn)品介紹

德國IMM PCC54-W-1.2-Z旋轉(zhuǎn)噴嘴，是面向精密制造產(chǎn)線工件非接觸式除塵除靜電場景打造的壓縮空氣驅(qū)動旋流吹掃與電離中和一體化緊湊型氣路執(zhí)行單元，沒有沿用普通常規(guī)同規(guī)格固定吹掃噴嘴依靠單一直噴氣流搭配外置獨立離子風棒的傳統(tǒng)組合結(jié)構(gòu)思路，而是在半導體晶圓載具循環(huán)吹掃工位、精密注塑件脫模后表面凈化這類對吹掃覆蓋、靜電同步中和響應速度要求嚴苛的場景需求層面做了渦輪驅(qū)動雙噴口旋流發(fā)生架構(gòu)集成、中心集成電離針布局專項優(yōu)化，針對普通常規(guī)固定直噴噴嘴吹掃存在死角、外置離子風棒布局繁瑣的常見問題做了316L不銹鋼全金屬耐腐殼體工藝升級、側(cè)置徑向高壓電極接入結(jié)構(gòu)調(diào)整，不用在吹掃工位周邊額外布置多獨立離子風棒就能在單臺緊湊單元上實現(xiàn)旋流吹掃剝離浮塵與同步電離中和靜電的一體化作業(yè)，從根源上減少了普通常規(guī)分散式吹掃除靜電系統(tǒng)布局空間大、調(diào)試點位多的問題，在長期伴隨半導體晶圓載具循環(huán)吹掃工位、精密注塑件脫模后表面凈化的使用場景下，也能持續(xù)維持穩(wěn)定的高效除塵除靜電性能與長周期多油污工業(yè)工況適配性能。

二、功能特點

渦輪驅(qū)動雙噴口旋流發(fā)生性能

單元的噴嘴內(nèi)部集成微型空氣渦輪結(jié)構(gòu)，壓縮空氣進入腔體后首動渦輪帶動噴嘴頭部高速旋轉(zhuǎn)，頭部對稱布置的兩個噴口跟隨旋轉(zhuǎn)噴出氣流，形成螺旋覆蓋的脈動旋流場，氣流可以順著工件表面的凹槽縫隙不斷掃動，浮塵顆粒被螺旋氣流帶起剝離，不會出現(xiàn)普通常規(guī)固定直噴噴嘴氣流方向單一凹槽位置容易留下吹掃死角的情況，不用在工位周邊額外布置多臺不同角度的固定噴嘴覆蓋死角，單臺旋轉(zhuǎn)噴嘴就可以在有效作用范圍內(nèi)形成的螺旋吹掃覆蓋，大幅減少工位上噴嘴的總布置數(shù)量。

中心集成電離針性能

單元的噴嘴氣流通道的中心位置直接集成了高壓電離放電針，旋流氣流從電離針周邊向外噴出的過程中，電離產(chǎn)生的正負離子可以直接被高速氣流裹挾著一同吹向工件表面，不需要經(jīng)過長距離的管路輸送，離子到達工件表面的路徑很短，不會出現(xiàn)普通常規(guī)外置離子風棒離子傳輸路徑長途中大量復合損耗的情況，不用額外在噴嘴前端外接一段長離子風輸送管路，就能讓大量活性離子快速抵達工件表面，提升靜電中和的響應速度。

316L不銹鋼全金屬耐腐殼體性能

單元的噴嘴整體外殼采用316L不銹鋼材質(zhì)一體加工成型，殼體表面的耐水汽耐腐蝕性能表現(xiàn)優(yōu)異，長期接觸少量弱酸堿工業(yè)清洗劑或者潮濕水汽的工況下，殼體表面不容易出現(xiàn)銹蝕斑點，不會出現(xiàn)普通常規(guī)工程塑料外殼噴嘴長期接觸腐蝕性介質(zhì)后殼體老化開裂的情況，不用在噴嘴外部額外加裝獨立的防腐蝕保護套，就能直接在帶少量腐蝕性介質(zhì)的復雜工況中長期使用，拓寬潮濕腐蝕環(huán)境的適配范圍。

側(cè)置徑向高壓電極接入性能

單元的高壓電極接入端口布置在噴嘴主體的側(cè)面徑向位置，高壓供電線纜可以順著噴嘴側(cè)面的平行方向走線布置，不需要沿著噴嘴軸向向外延伸占用軸向前方的空間，不會出現(xiàn)普通常規(guī)軸向電極接入的噴嘴線纜占用軸向前方大量空間的情況，不用特意在噴嘴軸向前方預留很大的布線空間，就能適配設(shè)備內(nèi)部狹小安裝空間的布線需求，適配緊湊工位的布局場景。

轉(zhuǎn)速離心自穩(wěn)定性能

單元的噴嘴頭部旋轉(zhuǎn)運動過程中依靠自身的離心力結(jié)構(gòu)實現(xiàn)轉(zhuǎn)速動態(tài)穩(wěn)定，當輸入壓縮空氣的壓力出現(xiàn)小幅波動時，旋轉(zhuǎn)頭部的離心配重結(jié)構(gòu)可以自動微調(diào)維持轉(zhuǎn)速相對穩(wěn)定，不會出現(xiàn)普通常規(guī)無穩(wěn)速結(jié)構(gòu)的噴嘴氣壓波動后轉(zhuǎn)速大幅變化導致吹掃效果不一致的情況，不用在氣路前端額外加裝高精度穩(wěn)壓閥嚴格控制氣壓波動，就能在常規(guī)氣壓波動范圍內(nèi)維持吹掃效果的穩(wěn)定性，降低氣路配套元件的精度要求。

快插式大流量氣路接口性能

單元的噴嘴進氣側(cè)配置了標準大流量快插氣路接頭，對應規(guī)格的氣動氣管可以直接快速插入接頭完成鎖緊連接，不需要額外使用生料帶纏繞螺紋密封，接頭允許通過的大壓縮空氣流量可以滿足雙噴口大流量吹掃的需求，不會出現(xiàn)普通常規(guī)小通徑螺紋氣口流量不足限制吹掃力度的情況，不用額外在氣路中加裝大流量分流轉(zhuǎn)接接頭，就能直接接入大流量吹掃氣路，提升現(xiàn)場氣路布設(shè)的效率。

可快速更換噴口插件性能

單元的噴嘴頭部的兩個噴口采用獨立可插拔的插件式結(jié)構(gòu)，當噴口長期使用后出現(xiàn)磨損或者需要調(diào)整噴口孔徑適配不同吹掃場景時，可以直接拔出舊插件更換對應規(guī)格的新插件，不需要拆解整個噴嘴的渦輪核心結(jié)構(gòu)，不會出現(xiàn)普通常規(guī)噴口和頭部一體成型的噴嘴磨損后只能整體報廢的情況，不用整體替換整臺噴嘴，僅更換小體積噴口插件就可以恢復原有吹掃性能，降低后期維護的耗材成本。

IP54等級整機防護性能

單元的噴嘴整體外殼的拼接縫隙位置都做了對應的密封處理，整機的防護等級達到IP54，現(xiàn)場環(huán)境中的飛濺液體和大顆粒粉塵不容易順著縫隙侵入噴嘴內(nèi)部的渦輪和電離元件區(qū)域，不會出現(xiàn)普通常規(guī)低防護等級噴嘴內(nèi)部容易進液進塵導致元件損壞的情況，不用在噴嘴外部額外加裝獨立的防塵防水外罩，就能直接在多粉塵帶少量飛濺液的工業(yè)現(xiàn)場長期使用，提升整機的環(huán)境耐受能力。

三、選型指南

匹配目標吹掃場景的基礎(chǔ)實際待清潔工件的整體尺寸大小需求

先確認待吹掃清潔的工件的整體輪廓尺寸，當前標準1.2mm噴口孔徑適配的多數(shù)中等尺寸精密工件場景直接選用這款德國IMM PCC54-W-1.2-Z旋轉(zhuǎn)噴嘴標準版本即可滿足使用需求，配套超大尺寸大面積工件的特殊吹掃場景，可選用同系列對應更大噴口孔徑的適配版本，進一步提升吹掃覆蓋范圍和氣流沖擊力，適配大尺寸工件的吹掃需求。

匹配現(xiàn)場實際工況的長期所處環(huán)境的平均腐蝕介質(zhì)濃度等級

確認噴嘴長期使用現(xiàn)場的腐蝕性介質(zhì)濃度，常規(guī)普通少腐蝕介質(zhì)的普通工業(yè)場景直接選用當前標準316L殼體版本即可滿足使用需求，配套高濃度腐蝕性介質(zhì)的惡劣工況，可選用同系列對應增強高耐腐特殊材質(zhì)殼體優(yōu)化的適配版本，進一步提升整套噴嘴的整體抗腐蝕能力，適配高腐蝕工況下的長期穩(wěn)定運行需求。

適配現(xiàn)場安裝點位的實際設(shè)備內(nèi)部預留的布線空間走向需求

提前確認待安裝位置周邊的布線空間走向，當前標準側(cè)置徑向電極接入適配的普通場景直接選用當前標準版本即可滿足使用需求，配套軸向前方?jīng)]有布線空間的極度緊湊安裝場景，可選用同系列對應平行電極側(cè)方出線的適配版本，進一步適配狹小空間的布線走向需求，適配存量老舊緊湊清潔工位改造的安裝場景。

適配高潔凈無塵半導體制造車間特殊工況需求

如果是用于長期在高潔凈無塵半導體制造車間內(nèi)部進行晶圓載具吹掃清潔的場景，可直接選用同系列對應增強型所有接觸氣流的部件附加特殊高潔凈無析出低粒子脫落構(gòu)型的適配版本，在保障基礎(chǔ)旋流吹掃除靜電性能的前提下進一步提升單元整體的潔凈安全等級，滿足高潔凈半導體制造工況下的長期穩(wěn)定使用要求。

四、技術(shù)參數(shù)

德國IMM PCC54-W-1.2-Z旋轉(zhuǎn)噴嘴，采用渦輪驅(qū)動雙噴口旋流發(fā)生架構(gòu)搭配中心集成電離針工藝布局，面向精密制造產(chǎn)線工件非接觸式除塵除靜電場景打造的壓縮空氣驅(qū)動旋流吹掃與電離中和一體化緊湊型氣路執(zhí)行單元，適配對應IMM PCC54系列旋轉(zhuǎn)噴嘴備件的標準參數(shù)，將噴嘴通過適配的安裝支架固定在吹掃工位的預設(shè)位置，分別連接好壓縮空氣進氣管路和高壓電離供電線路，確認所有連接位置鎖緊無漏氣無松動，先通入壓縮空氣手動測試旋轉(zhuǎn)頭部運轉(zhuǎn)順滑無卡滯，再開啟高壓電離供電確認電離狀態(tài)正常，將待清潔工件送入吹掃工位試吹掃幾個工件，確認除塵除靜電效果符合工藝要求后即可投入正式批量生產(chǎn)使用，渦輪驅(qū)動形成螺旋旋流吹掃，中心電離針就近產(chǎn)出離子隨氣流送出，316L殼體耐水汽耐腐蝕，側(cè)置徑向電極適配狹小布線空間，固定安裝、通氣試轉(zhuǎn)、效果核驗的全流程可同步完成，設(shè)計符合工業(yè)用旋轉(zhuǎn)電離吹掃噴嘴的相關(guān)行業(yè)技術(shù)規(guī)范，適配的常規(guī)允許工作壓力范圍5-10bar、轉(zhuǎn)速可調(diào)區(qū)間600-3000rpm的參數(shù)覆蓋多數(shù)精密制造產(chǎn)線工件非接觸式除塵除靜電場景的運行條件，長期伴隨半導體晶圓載具循環(huán)吹掃工位、精密注塑件脫模后表面凈化的使用場景下運行狀態(tài)的穩(wěn)定性處于可控范圍，適配各類精密制造產(chǎn)線工件非接觸式除塵除靜電場景配套專用壓縮空氣驅(qū)動旋流吹掃與電離中和一體化緊湊型氣路執(zhí)行單元的使用需求。

五、產(chǎn)品尺寸

核心旋流吹掃執(zhí)行單元本體尺寸

單元的整體不銹鋼噴嘴輪廓按照工業(yè)標準精密清潔工位吹掃元件的常規(guī)緊湊尺寸專項優(yōu)化，內(nèi)部空氣渦輪、電離針和氣路通道的布局組合適配多數(shù)精密制造產(chǎn)線清潔工位有限的安裝空間，整臺單元的噴嘴整體主體外徑54mm、軸向總長度、頭部旋轉(zhuǎn)噴口的大旋轉(zhuǎn)直徑對應的外形尺寸控制在適配同系列IMM PCC54系列旋轉(zhuǎn)噴嘴的合理范圍，安裝完成后不會出現(xiàn)噴嘴突出部位和周邊工位其他機械構(gòu)件空間干涉的情況，保障常規(guī)精密制造產(chǎn)線工件非接觸式除塵除靜電場景下的單元布設(shè)適配性。

配套關(guān)聯(lián)安裝與功能結(jié)構(gòu)基準參數(shù)

單元的噴嘴進氣側(cè)適配的標準NW10快插氣管的常規(guī)適配氣管外徑參數(shù)、適配的對應高壓電離供電模塊的常規(guī)推薦輸出電壓參數(shù)、噴嘴的常規(guī)允許最長連續(xù)不間斷吹掃運行時長參考值，符合同系列IMM工業(yè)旋轉(zhuǎn)噴嘴的通用安裝規(guī)范，不用在原有精密制造產(chǎn)線的吹掃工位上為噴嘴額外加工非標異形安裝開孔，就能直接完成整套噴嘴的固定安裝與調(diào)試運行，實現(xiàn)旋流吹掃剝離浮塵與同步電離中和靜電一體化作業(yè)核心功能單元的快速布設(shè)替換。

六、應用領(lǐng)域

大型半導體晶圓載具循環(huán)吹掃工位場景

適配各類大型半導體晶圓載具的循環(huán)吹掃工位清潔作業(yè)，渦輪驅(qū)動雙噴口旋流發(fā)生性能螺旋脈動旋流覆蓋工件表面，凹槽縫隙，無需布置多臺不同角度固定噴嘴，中心集成電離針性能電離針置于氣流中心，離子直接隨氣流送出，傳輸路徑短復合少，無需外接長離子風輸送管路，半導體制造產(chǎn)線運維人員不用在工位周邊額外布置多臺不同角度的固定噴嘴覆蓋死角，就能讓大量活性離子快速抵達工件表面，單臺噴嘴形成螺旋吹掃覆蓋。

大型精密注塑件脫模后表面凈化場景

適配各類大型精密注塑件脫模后的表面凈化作業(yè)，316L不銹鋼全金屬耐腐殼體性能316L不銹鋼一體成型，耐水汽耐弱腐蝕，無需額外加裝防腐蝕保護套，側(cè)置徑向高壓電極接入性能電極側(cè)置徑向出線，不占用軸向前方空間，無需預留很大軸向前方布線空間，注塑產(chǎn)線運維人員不用在噴嘴外部額外加裝獨立的防腐蝕保護套，就能適配設(shè)備內(nèi)部狹小安裝空間的布線需求，直接在帶少量腐蝕性介質(zhì)的復雜工況中長期使用。

大型汽車零部件涂裝前預處理吹掃場景

適配各類大型汽車零部件涂裝前的預處理吹掃作業(yè)，轉(zhuǎn)速離心自穩(wěn)定性能離心配重自動穩(wěn)速，氣壓小幅波動轉(zhuǎn)速變化小，無需前端加裝高精度穩(wěn)壓閥，快插式大流量氣路接口性能標準NW10快插接頭，大流量通徑，無需加裝大流量分流轉(zhuǎn)接接頭，汽車涂裝產(chǎn)線運維人員不用在氣路前端額外加裝高精度穩(wěn)壓閥嚴格控制氣壓波動，就能直接接入大流量吹掃氣路，在常規(guī)氣壓波動范圍內(nèi)維持吹掃效果穩(wěn)定。

大型PCB板生產(chǎn)線板面除塵除靜電場景

適配各類大型PCB板生產(chǎn)線的板面除塵除靜電作業(yè)，可快速更換噴口插件性能插件式噴口，磨損后可單獨插拔更換，無需整體報廢整臺噴嘴，降低維護耗材成本，IP54等級整機防護性能整機密封防護，阻擋飛濺液和粉塵侵入，無需額外加裝防塵防水外罩，PCB制造產(chǎn)線運維人員不用整體替換整臺噴嘴，不用在噴嘴外部額外加裝獨立的防塵防水外罩，就能直接在多粉塵帶少量飛濺液的工業(yè)現(xiàn)場長期使用，僅更換小體積噴口插件即可恢復原有吹掃性能。

七、總結(jié)

德國IMM PCC54-W-1.2-Z旋轉(zhuǎn)噴嘴，憑借渦輪驅(qū)動雙噴口旋流發(fā)生設(shè)計、中心集成電離針的差異化設(shè)計，解決了普通常規(guī)固定直噴噴嘴吹掃存在死角、外置離子風棒布局繁瑣的常見痛點，316L不銹鋼全金屬耐腐殼體性能、側(cè)置徑向高壓電極接入的特性覆蓋了大型半導體晶圓載具循環(huán)吹掃工位、大型精密注塑件脫模后表面凈化、大型汽車零部件涂裝前預處理吹掃等多類精密制造產(chǎn)線工件非接觸式除塵除靜電場景配套的專用壓縮空氣驅(qū)動旋流吹掃與電離中和一體化緊湊型氣路執(zhí)行單元的使用需求，在工業(yè)旋轉(zhuǎn)電離吹掃噴嘴應用領(lǐng)域擁有廣泛的落地適配空間，是一款針對長期多粉塵帶少量飛濺液復雜工業(yè)清潔工況場景、免頻繁布置多臺分散噴嘴維護需求、存量普通常規(guī)固定直噴噴嘴升級替換適配場景深度優(yōu)化的實用型專用工業(yè)配套壓縮空氣驅(qū)動旋流吹掃與電離中和一體化緊湊型氣路執(zhí)行單元。

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