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單管全自動(dòng)立式爐（PI Cuer,退火，合金）

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合肥真萍電子科技有限公司

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所在地區(qū)：安徽合肥市

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品用途：集成電路圓片膠， BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC晶圓、CMOS、Bumping、TSV、 MEMS、指紋識(shí)別；集成電路圓片快速退火。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.一體式人機(jī)操作系統(tǒng)，連續(xù)式自動(dòng)化生產(chǎn)，工作效率高，節(jié)約人工成本、電能及工藝時(shí)間；

2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；

3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理，確保潔凈度；

4.自帶自清潔功能——高溫清潔。

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)		TASF3075D107-N0	TASF3075D207-N0		TASF3075D407-N0
處理產(chǎn)品		8/12inch 晶圓	處理量		100/75PCS/管
加熱器		圓形FEC加熱板
上料口		4個(gè)	機(jī)械手		1
溫度范圍		長期使用溫度: 350℃，溫度：750℃
升溫速率		＜8℃/min		降溫速率	＜7℃/min
加熱功率		30kW(單爐)*2		加熱溫區(qū)	3個(gè)*2
爐溫均勻性		±2℃（350℃恒溫）		控溫?zé)崤?/span>	K分度
溫度控制方式		SSR		程序控制	P.I.D控制
爐膛材料		石英		保溫材料	陶瓷纖維
氣氛控制	多路流量計(jì)調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量計(jì)量程： 1）0-150L/min 氮?dú)?/span> 2）0-40L/min 氧氣				氣氛	N2/O2
排氣系統(tǒng)	在頂部設(shè)置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收