一、產(chǎn)品介紹

歐洲進(jìn)口 itp FHM500511032 階梯式桿測(cè)針，是面向高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)復(fù)雜深腔工件內(nèi)壁尺寸精密檢測(cè)場(chǎng)景打造的多臺(tái)階變徑結(jié)構(gòu)組合式精密接觸探測(cè)單元，沒(méi)有沿用普通常規(guī)同規(guī)格直桿測(cè)針依靠單一等直徑剛性桿支撐探測(cè)球頭的傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)思路，而是在大型精密航空發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)匣深孔內(nèi)壁形位公差檢測(cè)、復(fù)雜多臺(tái)階模具內(nèi)腔尺寸高精度測(cè)量這類對(duì)深腔可達(dá)性、探測(cè)剛性要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景需求層面做了多段階梯式變徑桿身結(jié)構(gòu)集成、球頭高剛性合金材料布局專項(xiàng)優(yōu)化，針對(duì)普通常規(guī)長(zhǎng)直桿測(cè)針深腔測(cè)量時(shí)桿身和工件孔壁易干涉、長(zhǎng)徑比過(guò)大剛性不足易形變的常見問(wèn)題做了多臺(tái)階過(guò)渡應(yīng)力分散工藝升級(jí)、桿身表面特殊低粗糙度拋光處理結(jié)構(gòu)調(diào)整，不用額外定制多支不同長(zhǎng)度的短測(cè)針?lè)侄螠y(cè)量就能在單支組合式測(cè)針上實(shí)現(xiàn)大長(zhǎng)徑比深腔內(nèi)部不同深度位置的內(nèi)壁尺寸一次性探測(cè)，從根源上減少了普通常規(guī)直桿測(cè)針深腔測(cè)量干涉風(fēng)險(xiǎn)高、剛性不足測(cè)量誤差大的問(wèn)題，在長(zhǎng)期伴隨大型精密航空發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)匣深孔內(nèi)壁形位公差檢測(cè)、復(fù)雜多臺(tái)階模具內(nèi)腔尺寸高精度測(cè)量的使用場(chǎng)景下，也能持續(xù)維持穩(wěn)定的高剛性低形變探測(cè)性能與長(zhǎng)周期精密測(cè)量工況適配性能。

二、功能特點(diǎn)

多段階梯式變徑桿身性能

單元的支撐桿身采用多段階梯式變徑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從測(cè)針安裝基座端到前端探測(cè)球頭方向，桿身直徑按照合理的梯度逐級(jí)減小，桿身整體的剛性分布更符合懸臂梁受力特性，在同等總長(zhǎng)度條件下桿身的整體剛性表現(xiàn)優(yōu)于等直徑直桿結(jié)構(gòu)，深腔探測(cè)過(guò)程中桿身不容易和工件的臺(tái)階孔內(nèi)壁發(fā)生干涉，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)等直徑長(zhǎng)直桿測(cè)針大長(zhǎng)徑比下剛性不足容易撓曲形變的情況，不用額外縮短測(cè)針有效長(zhǎng)度犧牲探測(cè)深度，就能在保障大長(zhǎng)徑比探測(cè)深度的同時(shí)維持足夠的剛性，降低探測(cè)過(guò)程中的撓曲形變誤差。

高精度合金探測(cè)球頭性能

單元的前端接觸探測(cè)球頭采用高硬度特種合金材質(zhì)經(jīng)過(guò)多道精密研磨工藝加工而成，球頭的整體圓度誤差控制在微米級(jí)區(qū)間，表面光潔度達(dá)到很高的等級(jí)，長(zhǎng)期和工件表面接觸摩擦過(guò)程中球頭表面磨損速率很低，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)普通材質(zhì)球頭長(zhǎng)期測(cè)量后表面快速磨損圓度超差的情況，不用頻繁定期更換新的測(cè)針，就能維持很長(zhǎng)的精密測(cè)量使用壽命，延長(zhǎng)測(cè)針的校準(zhǔn)周期。

應(yīng)力分散過(guò)渡圓角性能

單元的每一段階梯變徑位置的過(guò)渡區(qū)域都加工成大圓弧過(guò)渡圓角結(jié)構(gòu)，沒(méi)有尖銳的直角應(yīng)力集中拐點(diǎn)，測(cè)針受到側(cè)向接觸力作用時(shí)，變徑過(guò)渡位置的應(yīng)力可以均勻分散，局部應(yīng)力集中的情況得到明顯緩解，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)直角臺(tái)階過(guò)渡的測(cè)針受力后過(guò)渡位置容易出現(xiàn)疲勞斷裂的情況，不用在變徑位置額外粘貼補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)，就能有效分散交變接觸力產(chǎn)生的局部應(yīng)力，提升測(cè)針的整體抗疲勞壽命。

超低粗糙度桿身拋光性能

單元的整個(gè)階梯式桿身的外表面經(jīng)過(guò)高精度鏡面拋光處理，桿身外表面的粗糙度數(shù)值控制在很低的水平，測(cè)量過(guò)程中即使桿身偶爾和工件內(nèi)壁發(fā)生輕微剮蹭接觸，也不容易刮傷工件的精密加工表面，同時(shí)桿身表面也不會(huì)殘留過(guò)多的加工碎屑，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)未做高光潔度處理的桿身剮蹭工件后容易留下明顯劃痕的情況，不用在桿身外部額外包裹防護(hù)涂層，就能直接在高精密工件的深腔內(nèi)部進(jìn)行探測(cè)，避免劃傷工件已加工表面。

高精度基準(zhǔn)安裝柄性能

單元的后端和測(cè)量機(jī)主軸連接的安裝基準(zhǔn)柄采用高精度外圓磨削工藝加工而成，安裝柄的外圓圓度誤差和和桿身軸線的同軸度誤差都控制在很小的區(qū)間內(nèi)，測(cè)針安裝到測(cè)量機(jī)主軸上后整體的徑向跳動(dòng)量處于極低的水平，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)安裝柄同軸度差的測(cè)針安裝后球頭徑向偏擺大的情況，不用在安裝后反復(fù)多次校準(zhǔn)測(cè)針的偏心偏差，就能直接獲得很高的安裝同軸精度，減少測(cè)針校準(zhǔn)的工作量。

內(nèi)部剛性加強(qiáng)芯軸性能

單元的階梯式桿身內(nèi)部?jī)?nèi)置了高剛性合金加強(qiáng)芯軸，外部包裹輕量化的低膨脹合金支撐層，在控制桿身整體重量的同時(shí)進(jìn)一步提升桿身的整體剛性，測(cè)量過(guò)程中桿身的動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度更快，受慣性力影響產(chǎn)生的動(dòng)態(tài)形變控制在很低的水平，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)全實(shí)心單材質(zhì)桿身重量過(guò)大動(dòng)態(tài)響應(yīng)滯后的情況，不用額外降低測(cè)量機(jī)的探測(cè)移動(dòng)速度，就能在保障剛性的前提下獲得更快的動(dòng)態(tài)響應(yīng)，提升整體測(cè)量效率。

多規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)接口兼容性能

單元的后端安裝基準(zhǔn)柄的尺寸規(guī)格適配行業(yè)通用的測(cè)針標(biāo)準(zhǔn)接口，不需要額外配置特殊的轉(zhuǎn)接夾具，就可以直接安裝到主流品牌三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)針主軸或者測(cè)針更換架上，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)非標(biāo)準(zhǔn)接口的測(cè)針無(wú)法適配自動(dòng)更換架的情況，不用額外定制專屬的轉(zhuǎn)接接頭，就能直接接入已有的測(cè)量機(jī)測(cè)針自動(dòng)更換系統(tǒng)，適配自動(dòng)化測(cè)量場(chǎng)景的使用需求。

低熱膨脹系數(shù)適配性能

單元的桿身所用的合金材料經(jīng)過(guò)特殊配比優(yōu)化，整體的熱膨脹系數(shù)控制在很低的水平，測(cè)量環(huán)境溫度出現(xiàn)小范圍波動(dòng)時(shí)，桿身的熱伸長(zhǎng)量控制在微米級(jí)區(qū)間，溫度變化引入的測(cè)量誤差很小，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)普通鋼材桿身溫度變化后熱脹冷縮明顯的情況，不用在嚴(yán)格的恒溫環(huán)境下才能開展高精度測(cè)量，就能在常規(guī)溫度波動(dòng)的車間環(huán)境中獲得穩(wěn)定的測(cè)量精度，放寬測(cè)量環(huán)境的溫度要求。

三、選型指南

匹配目標(biāo)測(cè)量場(chǎng)景的基礎(chǔ)實(shí)際深腔總探測(cè)深度需求

先確認(rèn)待測(cè)量深腔工件的大有效探測(cè)深度，當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)總長(zhǎng)度適配的多數(shù)中等深度深腔測(cè)量場(chǎng)景直接選用這款歐洲進(jìn)口itp FHM500511032階梯式桿測(cè)針標(biāo)準(zhǔn)版本即可滿足使用需求，配套需要探測(cè)更深的超大長(zhǎng)徑比深腔的特殊場(chǎng)景，可選用同系列對(duì)應(yīng)更大有效探測(cè)長(zhǎng)度的適配版本，進(jìn)一步提升測(cè)針的總有效探測(cè)深度，適配超深深腔工件的測(cè)量需求。

匹配現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際工況的長(zhǎng)期接觸測(cè)量的工件材質(zhì)硬度需求

確認(rèn)日常測(cè)量的工件的表面平均硬度，常規(guī)普通硬度金屬工件測(cè)量的普通場(chǎng)景直接選用當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)合金球頭版本即可滿足使用需求，配套測(cè)量高硬度硬質(zhì)合金類特殊工件的場(chǎng)景，可選用同系列對(duì)應(yīng)更高硬度耐磨球頭的適配版本，進(jìn)一步提升球頭的表面耐磨性能，適配超高硬度工件的長(zhǎng)期頻繁測(cè)量需求。

適配現(xiàn)場(chǎng)使用點(diǎn)位的實(shí)際三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)針接口規(guī)格需求

提前確認(rèn)測(cè)量機(jī)現(xiàn)有測(cè)針安裝接口的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)通用接口適配的普通場(chǎng)景直接選用當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)版本即可滿足使用需求，配套特殊非標(biāo)準(zhǔn)老舊型號(hào)測(cè)量機(jī)的特殊接口場(chǎng)景，可選用同系列對(duì)應(yīng)適配特殊安裝柄尺寸的適配版本，進(jìn)一步適配老舊測(cè)量機(jī)的原有安裝接口，適配存量老舊設(shè)備的改造使用場(chǎng)景。

適配高潔凈無(wú)塵光學(xué)元件精密測(cè)量特殊工況需求

如果是用于長(zhǎng)期在高潔凈無(wú)塵光學(xué)元件潔凈車間內(nèi)進(jìn)行精密尺寸測(cè)量的場(chǎng)景，可直接選用同系列對(duì)應(yīng)增強(qiáng)型所有外表面附加特殊低析出易清潔構(gòu)型的適配版本，在保障基礎(chǔ)高剛性低形變探測(cè)性能的前提下進(jìn)一步提升單元整體的潔凈安全等級(jí)，滿足高潔凈光學(xué)元件測(cè)量工況下的長(zhǎng)期穩(wěn)定使用要求。

四、技術(shù)參數(shù)

歐洲進(jìn)口 itp FHM500511032 階梯式桿測(cè)針，采用多段階梯式變徑桿身架構(gòu)搭配高精度合金探測(cè)球頭工藝布局，面向高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)復(fù)雜深腔工件內(nèi)壁尺寸精密檢測(cè)場(chǎng)景打造的多臺(tái)階變徑結(jié)構(gòu)組合式精密接觸探測(cè)單元，適配對(duì)應(yīng)itp FHM系列階梯式測(cè)針備件的標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，將測(cè)針后端的高精度基準(zhǔn)安裝柄對(duì)準(zhǔn)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)針安裝接口平穩(wěn)插入鎖緊，確認(rèn)測(cè)針安裝牢固不會(huì)出現(xiàn)周向和軸向松動(dòng)后啟動(dòng)測(cè)量機(jī)的測(cè)針校準(zhǔn)程序，完成球頭偏心和探測(cè)半徑的校準(zhǔn)確認(rèn)所有校準(zhǔn)數(shù)據(jù)處于允許的誤差范圍內(nèi)后就可以投入測(cè)量使用，多段階梯變徑桿身平衡剛性和深腔可達(dá)性，大圓弧過(guò)渡圓角分散局部應(yīng)力，高光潔度桿身避免劃傷工件表面，低熱膨脹材質(zhì)降低溫度影響，對(duì)位安裝、校準(zhǔn)標(biāo)定、投入測(cè)量的全流程可同步完成，設(shè)計(jì)符合三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)接觸式測(cè)針的相關(guān)行業(yè)技術(shù)規(guī)范，適配的常規(guī)允許大有效探測(cè)長(zhǎng)度和球頭直徑范圍覆蓋多數(shù)高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)復(fù)雜深腔工件內(nèi)壁尺寸精密檢測(cè)場(chǎng)景的運(yùn)行條件，長(zhǎng)期伴隨大型精密航空發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)匣深孔內(nèi)壁形位公差檢測(cè)、復(fù)雜多臺(tái)階模具內(nèi)腔尺寸高精度測(cè)量的使用場(chǎng)景下運(yùn)行狀態(tài)的穩(wěn)定性處于可控范圍，適配各類高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)復(fù)雜深腔工件內(nèi)壁尺寸精密檢測(cè)場(chǎng)景配套專用多臺(tái)階變徑結(jié)構(gòu)組合式精密接觸探測(cè)單元的使用需求。

五、產(chǎn)品尺寸

核心精密接觸探測(cè)單元本體尺寸

單元的整體階梯式變徑桿身輪廓按照工業(yè)常見深腔工件的典型內(nèi)腔尺寸專項(xiàng)優(yōu)化，內(nèi)部加強(qiáng)芯軸和外層支撐層的布局組合適配多數(shù)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)針庫(kù)的允許收納空間，整臺(tái)單元的測(cè)針整體軸向總長(zhǎng)度、后端安裝柄大外徑、前端探測(cè)球頭的直徑對(duì)應(yīng)的外形尺寸控制在適配同系列itp FHM系列階梯式測(cè)針的合理范圍，測(cè)量運(yùn)動(dòng)過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)測(cè)針突出部位和測(cè)量機(jī)測(cè)針周邊構(gòu)件空間干涉的情況，保障常規(guī)高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)復(fù)雜深腔工件內(nèi)壁尺寸精密檢測(cè)場(chǎng)景下的單元布設(shè)適配性。

配套關(guān)聯(lián)安裝與功能結(jié)構(gòu)基準(zhǔn)參數(shù)

單元的測(cè)針后端適配的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針安裝接口的常規(guī)安裝尺寸參數(shù)、適配的對(duì)應(yīng)前端探測(cè)球頭的常規(guī)標(biāo)準(zhǔn)直徑規(guī)格參數(shù)、測(cè)針的常規(guī)允許最長(zhǎng)連續(xù)不間斷使用時(shí)長(zhǎng)參考值，符合同系列itp工業(yè)精密測(cè)針的通用安裝規(guī)范，不用在原有三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)針主軸上為測(cè)針額外加工非標(biāo)異形安裝接口，就能直接完成整套測(cè)針的對(duì)位安裝與校準(zhǔn)標(biāo)定，實(shí)現(xiàn)大長(zhǎng)徑比深腔內(nèi)部不同深度位置內(nèi)壁尺寸一次性探測(cè)核心功能單元的快速布設(shè)替換。

六、應(yīng)用領(lǐng)域

大型精密航空發(fā)動(dòng)機(jī)整體機(jī)匣深孔內(nèi)壁形位公差檢測(cè)場(chǎng)景

適配各類大型精密航空發(fā)動(dòng)機(jī)整體機(jī)匣深孔內(nèi)壁的形位公差檢測(cè)作業(yè)，多段階梯式變徑桿身性能逐級(jí)減徑平衡剛性和可達(dá)性，無(wú)需犧牲探測(cè)深度換剛性，高精度合金探測(cè)球頭性能高硬度精密研磨合金球頭，低磨損高圓度，無(wú)需頻繁更換測(cè)針，航空精密檢測(cè)人員不用額外縮短測(cè)針有效長(zhǎng)度犧牲探測(cè)深度，就能維持很長(zhǎng)的精密測(cè)量使用壽命，在保障大長(zhǎng)徑比探測(cè)深度的同時(shí)維持足夠的剛性。

大型多臺(tái)階精密注塑模具復(fù)雜內(nèi)腔尺寸高精度測(cè)量場(chǎng)景

適配各類大型多臺(tái)階精密注塑模具復(fù)雜內(nèi)腔的尺寸高精度測(cè)量作業(yè)，應(yīng)力分散過(guò)渡圓角性能大圓弧過(guò)渡分散局部應(yīng)力，避免應(yīng)力集中斷裂，無(wú)需額外粘貼補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)，超低粗糙度桿身拋光性能鏡面高光潔度桿身，輕微剮蹭不易劃傷工件，無(wú)需外部包裹防護(hù)涂層，模具精密檢測(cè)人員不用在變徑位置額外粘貼補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)，就能直接在高精密工件的深腔內(nèi)部進(jìn)行探測(cè)，有效分散交變接觸力產(chǎn)生的局部應(yīng)力。

大型精密齒輪箱多級(jí)內(nèi)齒圈軸向跨距尺寸檢測(cè)場(chǎng)景

適配各類大型精密齒輪箱多級(jí)內(nèi)齒圈的軸向跨距尺寸檢測(cè)作業(yè)，高精度基準(zhǔn)安裝柄性能高精度磨削基準(zhǔn)柄，高同軸度低徑向跳動(dòng)，無(wú)需反復(fù)多次校準(zhǔn)偏心偏差，內(nèi)部剛性加強(qiáng)芯軸性能內(nèi)置加強(qiáng)芯軸輕量化高剛性，動(dòng)態(tài)響應(yīng)快，無(wú)需降低測(cè)量移動(dòng)速度，齒輪箱精密檢測(cè)人員不用在安裝后反復(fù)多次校準(zhǔn)測(cè)針的偏心偏差，就能在保障剛性的前提下獲得更快的動(dòng)態(tài)響應(yīng)，直接獲得很高的安裝同軸精度。

大型精密半導(dǎo)體蝕刻機(jī)腔體內(nèi)部臺(tái)階尺寸檢測(cè)場(chǎng)景

適配各類大型精密半導(dǎo)體蝕刻機(jī)腔體內(nèi)部的臺(tái)階尺寸檢測(cè)作業(yè)，多規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)接口兼容性能通用標(biāo)準(zhǔn)安裝柄，適配自動(dòng)測(cè)針更換架，無(wú)需定制特殊轉(zhuǎn)接接頭，低熱膨脹系數(shù)適配性能低膨脹合金材質(zhì)，溫度波動(dòng)引入誤差小，無(wú)需嚴(yán)格恒溫環(huán)境也能保障精度，半導(dǎo)體設(shè)備精密檢測(cè)人員不用額外定制專屬的轉(zhuǎn)接接頭，就能在常規(guī)溫度波動(dòng)的車間環(huán)境中獲得穩(wěn)定的測(cè)量精度，直接接入已有的測(cè)量機(jī)測(cè)針自動(dòng)更換系統(tǒng)。

七、總結(jié)

歐洲進(jìn)口 itp FHM500511032 階梯式桿測(cè)針，憑借多段階梯式變徑桿身設(shè)計(jì)、高精度合金探測(cè)球頭的差異化設(shè)計(jì)，解決了普通常規(guī)長(zhǎng)直桿測(cè)針深腔測(cè)量時(shí)桿身和工件孔壁易干涉、長(zhǎng)徑比過(guò)大剛性不足易形變的常見痛點(diǎn)，應(yīng)力分散過(guò)渡圓角性能、超低粗糙度桿身拋光的特性覆蓋了大型精密航空發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)匣深孔內(nèi)壁形位公差檢測(cè)、大型多臺(tái)階精密注塑模具復(fù)雜內(nèi)腔尺寸高精度測(cè)量、大型精密齒輪箱多級(jí)內(nèi)齒圈軸向跨距尺寸檢測(cè)等多類高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)復(fù)雜深腔工件內(nèi)壁尺寸精密檢測(cè)場(chǎng)景配套的專用多臺(tái)階變徑結(jié)構(gòu)組合式精密接觸探測(cè)單元的使用需求，在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)深腔測(cè)量專用測(cè)針應(yīng)用領(lǐng)域擁有廣泛的落地適配空間，是一款針對(duì)長(zhǎng)期大長(zhǎng)徑比深腔復(fù)雜精密測(cè)量工況場(chǎng)景、低撓形變高精度測(cè)量需求、存量普通直桿測(cè)針升級(jí)替換適配場(chǎng)景深度優(yōu)化的實(shí)用型專用工業(yè)配套多臺(tái)階變徑結(jié)構(gòu)組合式精密接觸探測(cè)單元。

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