直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性,內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪,皮帶等部件,系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖,傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能,。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能,減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器,方便調(diào)試人員使用,并支持熱插拔功能??梢愿鶕?jù)客戶應(yīng)用的特殊要求,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。
參數(shù):
本體重量 | 50KG |
適用晶圓尺寸 | 300mm/200mm/150mm/100mm |
負(fù)載 | <500g |
電源輸入 | AC電壓:AC208V AC頻率:50HZ/60HZ |
電源范圍 電壓波動范圍 | 單相交流208V +10%,-15% |
節(jié)拍 | R axis<3(Home to Extend703mm) |
θ axis<2.5s(180°)(根據(jù)實際摩擦力) | |
Z axis<1.8s(90mm) | |
重復(fù)定位精度 | Z: ±0.05mm(3σ) |
T: ±0.003°(3σ) | |
R: ±0.05mm(3σ) | |
漏率 | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度 | 5X10-9Torr |
適用溫度 | 法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃ |
行程 | R軸703mm Z軸90mm |
潔凈度 | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
復(fù)合運(yùn)動 | 支持 |
PC遠(yuǎn)程操作軟件 | 支持 |
通信接口 | Ethernet/串口 |
IO互鎖 | 支持 |
安全區(qū) | 支持 |
碰撞保護(hù) | 支持 |




















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