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真空機(jī)械手ARCHER 系列

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新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司(以下簡稱“新松”)成立于2000年,隸屬,是一家以機(jī)器人技術(shù)為核心的高科技上市公司。作為中國機(jī)器人企業(yè)及國家機(jī)器人產(chǎn)業(yè)化基地,新松擁有完整的機(jī)器人產(chǎn)品線及工業(yè)4.0整體解決方案。以創(chuàng)新、開放和共贏的思維行業(yè)進(jìn)步,以的產(chǎn)品和服務(wù)為客戶持續(xù)創(chuàng)造價(jià)值。新松本部位于沈陽,在上海設(shè)有國際總部,在沈陽、上海、杭州、青島、天津、無錫建有產(chǎn)業(yè)園區(qū)。同時(shí),新松積極布局國際市場,在韓國、新加坡、泰國、香港等地設(shè)立多家控股子公司,現(xiàn)擁有4000余人的研發(fā)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì),形成以自主核心技術(shù)、核心零部件、核心產(chǎn)品及行業(yè)系統(tǒng)解決方案為一體的全產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈。作為中國機(jī)器人產(chǎn)業(yè)頭雁,新松已創(chuàng)造了百余項(xiàng)一。成功研制了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的工業(yè)機(jī)器人、協(xié)作機(jī)器人、移動(dòng)機(jī)器人、特種機(jī)器人、服務(wù)機(jī)器人五大系列百余種產(chǎn)品,面向智能工廠、智能裝備、智能物流、半導(dǎo)體裝備、智能交通,形成產(chǎn)業(yè)方向,致力于打造數(shù)字化物聯(lián)新模式。產(chǎn)品累計(jì)出口30多個(gè)國家和地區(qū),為3000余家國際企業(yè)提供產(chǎn)業(yè)升級服務(wù)。新松緊抓新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革契機(jī),發(fā)揮人工智能技術(shù)的賦能效應(yīng),以工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、5G網(wǎng)絡(luò)等新一代科技推動(dòng)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)平臺(tái)化發(fā)展,打造集創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、金融鏈、人才鏈于一體的生態(tài)體系。聚焦核心技術(shù),共享智能時(shí)代。智慧新松,未來!
工業(yè)機(jī)器人
直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu),全新的IO模塊,具有*的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號硬件中斷功能。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制,手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。
真空機(jī)械手ARCHER 系列 產(chǎn)品信息

機(jī)械手本體采用多電機(jī)同軸結(jié)構(gòu),動(dòng)作更加靈活穩(wěn)定;高重復(fù)定位精度,并具備AWC自動(dòng)糾偏功能,保證傳片精度;耐真空性,可勝任高真空環(huán)境下晶圓傳片需求。直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性,內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪,皮帶等部件,系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好,可靠性更高。IO模塊具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能,減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器,方便調(diào)試人員使用,并支持熱插拔功能。在此基礎(chǔ)上,Archer Q41采用雙手蝴蝶手形式,四手指結(jié)構(gòu),雙取雙放,大大提高了晶圓傳片效率。Archer Q41/R41可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。

參數(shù):

本體重量Body Weight

90KG

適用晶圓尺寸Wafer Size

300mm/200mm

負(fù)載Payload

1KG

電源輸入Power Supply

AC電壓:208V AC頻率:50HZ/60HZ

電源范圍 電壓波動(dòng)范圍

單相交流208V +10%-15%

節(jié)拍Bear

8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據(jù)手指材料,傳輸位置不同相關(guān))

動(dòng)態(tài)偏差糾正精度(AWC)

±0.1mm

運(yùn)動(dòng)范圍

Range

R994mm

T:>360°

Z135mm

重復(fù)定位精度Repeatability

Z: ±0.05mm3σ)

T: ±0.003°(3σ)

R: ±0.05mm3σ)

漏率Leak rate

< 5 x 10-9 std. cc/sec He

真空度Base Pressure

3X10-8Torr

適用溫度

Applicable temperature

法蘭:<90;本體:<50;手臂:<90

潔凈度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>12.8million cycles

通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互鎖IO interlock

支持Support


關(guān)鍵詞:機(jī)械手 傳感器
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