EFEM是一個晶圓前端傳輸設(shè)備,是一個與SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的界面系統(tǒng),可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務(wù)。占地面積小,采用帶外部軸的雙臂機(jī)械手,通過雙軸復(fù)合運(yùn)動實(shí)現(xiàn)取放片,極大的提高了傳片效率的同時(shí)而又降低了產(chǎn)品維護(hù)成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu),保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別,保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護(hù),從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設(shè)備的安全。
參數(shù):
項(xiàng) 目 | Input信息 | |
Wafer規(guī)格 | 材質(zhì)尺寸 | 200mm/300mm wafer |
Alignment Mark | Notch/ Flat | |
厚度 | 標(biāo)準(zhǔn)wafer | |
溫度 | ≤200℃ | |
與傳送片接觸處的材質(zhì) | 陶瓷 | |
片盒規(guī)格(類型、廠家、段數(shù)、段間距等) | Foup/Adaptor | |
AMHS(自動物料搬送系統(tǒng))要求 | OHT | |
搬送精度(Alignment精度) | ±0.1mm | |
Particle Spec | ISO Class 1 | |
Throughput | >100wfrs/h | |
Stage數(shù)(LP數(shù)) | 2 | |
Load Lock | Stage數(shù)(LL) | 2 |
位置(XYZ) | 兩個LL | |
Wafer放置精度 X-Y | ±0.1mm | |
Wafer放置角度精度 | / | |
整機(jī)規(guī)格 | 參照尺寸說明 | |
Foot Print | W | ≤2100 |
D | ≤750 | |
H | ≤2500 | |
重量 | ≤1200KG | |
整機(jī)設(shè)計(jì)參照標(biāo)準(zhǔn) | SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400 | |
軟件界面設(shè)計(jì)參考標(biāo)準(zhǔn) | SEMI E30, E84 | |




















裕民县|
安泽县|
锡林浩特市|
乐亭县|
韶关市|
敦煌市|
太白县|
江都市|
福清市|
莱州市|
兴城市|
彩票|
丰原市|
育儿|
筠连县|
潜江市|
景谷|
陕西省|
彭泽县|
山东|
剑河县|
拜泉县|
开远市|
甘孜县|
大城县|
闻喜县|
辽宁省|
南江县|
南和县|
常德市|
盐池县|
云安县|
开阳县|
涞源县|
清水河县|
浦县|
南丹县|
碌曲县|
阿拉善右旗|
南郑县|
和顺县|