直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩(wěn)性好,可靠性高。與PINUS B系列相比,將控制器集成到機械手本體之內,大大縮減了整體尺寸,并且縮短了互聯線纜長度,可靠性得以提升。IO處理模塊,可以根據用戶需求配置輸入輸出數量,有效電平可以切換,用戶可以根據需求將輸出輸入引腳配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。碰撞保護功能可以減少用戶誤操作導致的各種損失。以示教器作為人機交互媒介,方便調試人員使用。可以根據客戶應用的特殊要求,定制手臂尺寸、耐高溫耐腐蝕特性等。
參數:
本體重量Body Weight | 50KG |
適用晶圓尺寸Wafer Size | 300mm/200mm/150mm/100mm |
負載Payload | 1KG |
電源輸入Power Supply | 24 V DC, ±5% |
節(jié)拍Bear | 10.5 s(Pick+Rotate180°+Place,與手指材料、傳輸位置相關) |
動態(tài)偏差糾正精度(AWC) | ±0.1mm |
重復定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm(3σ) |
T: ±0.006°(3σ) | |
R: ±0.05mm(3σ) | |
漏率Leak rate | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 5X10-9Torr |
適用溫度 Applicable temperature | 法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃ |
潔凈度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
復合運動 Compound motion | 支持Support |
PC遠程操作軟件 | 支持Support |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互鎖IO interlock | 支持Support |
安全區(qū)Safe area | 支持Support |
碰撞保護 Collision protection | 支持Support |




















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