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真空傳輸平臺(tái)DIAGRAM 600

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新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“新松”)成立于2000年,隸屬,是一家以機(jī)器人技術(shù)為核心的高科技上市公司。作為中國(guó)機(jī)器人企業(yè)及國(guó)家機(jī)器人產(chǎn)業(yè)化基地,新松擁有完整的機(jī)器人產(chǎn)品線及工業(yè)4.0整體解決方案。以創(chuàng)新、開(kāi)放和共贏的思維行業(yè)進(jìn)步,以的產(chǎn)品和服務(wù)為客戶持續(xù)創(chuàng)造價(jià)值。新松本部位于沈陽(yáng),在上海設(shè)有國(guó)際總部,在沈陽(yáng)、上海、杭州、青島、天津、無(wú)錫建有產(chǎn)業(yè)園區(qū)。同時(shí),新松積極布局國(guó)際市場(chǎng),在韓國(guó)、新加坡、泰國(guó)、香港等地設(shè)立多家控股子公司,現(xiàn)擁有4000余人的研發(fā)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì),形成以自主核心技術(shù)、核心零部件、核心產(chǎn)品及行業(yè)系統(tǒng)解決方案為一體的全產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈。作為中國(guó)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)頭雁,新松已創(chuàng)造了百余項(xiàng)一。成功研制了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工業(yè)機(jī)器人、協(xié)作機(jī)器人、移動(dòng)機(jī)器人、特種機(jī)器人、服務(wù)機(jī)器人五大系列百余種產(chǎn)品,面向智能工廠、智能裝備、智能物流、半導(dǎo)體裝備、智能交通,形成產(chǎn)業(yè)方向,致力于打造數(shù)字化物聯(lián)新模式。產(chǎn)品累計(jì)出口30多個(gè)國(guó)家和地區(qū),為3000余家國(guó)際企業(yè)提供產(chǎn)業(yè)升級(jí)服務(wù)。新松緊抓新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革契機(jī),發(fā)揮人工智能技術(shù)的賦能效應(yīng),以工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、5G網(wǎng)絡(luò)等新一代科技推動(dòng)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)平臺(tái)化發(fā)展,打造集創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、金融鏈、人才鏈于一體的生態(tài)體系。聚焦核心技術(shù),共享智能時(shí)代。智慧新松,未來(lái)!
工業(yè)機(jī)器人
一體化程度高,自動(dòng)化程度高,擁有新松自主研發(fā)的真空機(jī)械手,真空預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置及晶圓盒真空升降傳輸裝置,帶有迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)的用戶可定制端口;
真空傳輸平臺(tái)DIAGRAM 600 產(chǎn)品信息

Diagram600晶圓傳輸平臺(tái),符合集成電路工藝精度和凈化要求,并具有高精度、高效率、高潔凈度和高可靠性,是鏈接物料搬運(yùn)系統(tǒng)與硅片處理系統(tǒng)的橋梁,能夠保證硅片在不受污染的條件下被準(zhǔn)確安全的傳輸。在半導(dǎo)體前道設(shè)備中廣泛應(yīng)用,對(duì)設(shè)備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務(wù),快速響應(yīng)的售后服務(wù),以及敦實(shí)的技術(shù)實(shí)力,是我們的主要競(jìng)爭(zhēng)力。推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步,有效的支撐了國(guó)內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。

參數(shù):

Item

Specification

晶圓類(lèi)型

Wafer types

SEMI standard silicon wafers

晶圓尺寸Wafer Size

100mm,150mm, 200mm

定位標(biāo)記

Alignment Mark

Notch & Flat

厚度thickness

150mm wafer: 0.675mm±10%;

200mm wafer: 0.75mm±10%

Cassette類(lèi)型

Cassette types

configurable for 150mm, 200mm SEMI Standard cassettes.

傳輸平臺(tái)

Transport Plane

900 mm at VCE platform(SEMI-std)
1100 mm per SEMI std E21-91 at Process Module side(9.5 mm above slot centerline)

晶圓取放精度

Wafer placement repeatability

0.2mm

真空度Vacuum level

rough pumping: 5 mTorr

漏率Leak rate

0.5 mTorr/minTest after 24 hours pump


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