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真空機械手Titan1500C

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新松機器人自動化股份有限公司(以下簡稱“新松”)成立于2000年,隸屬,是一家以機器人技術(shù)為核心的高科技上市公司。作為中國機器人企業(yè)及國家機器人產(chǎn)業(yè)化基地,新松擁有完整的機器人產(chǎn)品線及工業(yè)4.0整體解決方案。以創(chuàng)新、開放和共贏的思維行業(yè)進(jìn)步,以的產(chǎn)品和服務(wù)為客戶持續(xù)創(chuàng)造價值。新松本部位于沈陽,在上海設(shè)有國際總部,在沈陽、上海、杭州、青島、天津、無錫建有產(chǎn)業(yè)園區(qū)。同時,新松積極布局國際市場,在韓國、新加坡、泰國、香港等地設(shè)立多家控股子公司,現(xiàn)擁有4000余人的研發(fā)創(chuàng)新團隊,形成以自主核心技術(shù)、核心零部件、核心產(chǎn)品及行業(yè)系統(tǒng)解決方案為一體的全產(chǎn)業(yè)價值鏈。作為中國機器人產(chǎn)業(yè)頭雁,新松已創(chuàng)造了百余項一。成功研制了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的工業(yè)機器人、協(xié)作機器人、移動機器人、特種機器人、服務(wù)機器人五大系列百余種產(chǎn)品,面向智能工廠、智能裝備、智能物流、半導(dǎo)體裝備、智能交通,形成產(chǎn)業(yè)方向,致力于打造數(shù)字化物聯(lián)新模式。產(chǎn)品累計出口30多個國家和地區(qū),為3000余家國際企業(yè)提供產(chǎn)業(yè)升級服務(wù)。新松緊抓新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革契機,發(fā)揮人工智能技術(shù)的賦能效應(yīng),以工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、云計算、5G網(wǎng)絡(luò)等新一代科技推動機器人產(chǎn)業(yè)平臺化發(fā)展,打造集創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、金融鏈、人才鏈于一體的生態(tài)體系。聚焦核心技術(shù),共享智能時代。智慧新松,未來!
工業(yè)機器人
采用磁流體密封技術(shù),網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng),具有*的防碰撞保護功能及動態(tài)糾偏功能,通過SEMI認(rèn)證,MCBF大于1000萬次,同時具備超高潔凈度,耐高溫、耐腐蝕,負(fù)載能力強等特點。滿足個性化設(shè)計支持用戶定制,負(fù)載、手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。是大負(fù)載真空機械手的*之選。
真空機械手Titan1500C 產(chǎn)品信息

Titan1500C作為LED芯片制造領(lǐng)域的真空機械手產(chǎn)品,大負(fù)載真空機械手主要用于LED芯片制造過程中,實現(xiàn)裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送,具有真空度高,傳輸效率高,負(fù)載能力強,耐高溫等特點,大大提高了LED芯片生產(chǎn)制造的良率和效率,是LED芯片制造裝備的關(guān)鍵產(chǎn)品。本產(chǎn)品在集成電路制造用真空機械手的基礎(chǔ)上,針對其大負(fù)載需求,創(chuàng)新了其傳輸結(jié)構(gòu)和控制規(guī)律,使其能夠達(dá)到12kg的負(fù)載能力,同時保持很小的占用體積,保持高耐真空度及潔凈等級。

參數(shù):

結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure

柱坐標(biāo)型/SCARA Cylindrical Coordinate/SCARA

驅(qū)動方式Driving method

伺服電機Servo Motor

手?jǐn)?shù)量Number of Arm

單臂Single Arm

負(fù)載Payload

名稱Name

托盤Tray

直徑Diameter

Φ716mm

重量Weight

12kg

自由度數(shù)DOF

3

手臂長度Arm Length

355mm

手指長度(安裝中心至硅片中心)

Finger length(distance from install center to wafer center)

810mm

運動范圍

Moving Range

RR-axis

1500mm

θ軸θ-axis

無限回轉(zhuǎn)Infinite Rotation

ZZ-axis

150mm

全行程最小時間

Swap time

RR-axis

27.8sHome to Extend 1500mm

θ軸θ-axis

15s(180°)

ZZ-axis

13s150mm

重復(fù)定位精度Repeatability

RR-axis

±0.2mm(3σ)

θ軸θ-axis

±0.2mm(3σ)

ZZ-axis

±0.2mm(3σ)

最小回轉(zhuǎn)半徑Robot Clearance Radius

762.5mm

下垂量Deflection

5mm

真空度 Vacuum level

5×10-9 Torr

漏率Leak Rate

1×10-9 std.cc/sec He

電源Electrical

208VAC(50Hz/60Hz)

電源范圍 電壓波動范圍

單相交流208V +10%,-15%

通信接口Communication Network

Ethernet

重量Drive body+arm set weight

195kg

行程

1500mm


關(guān)鍵詞:機械手 伺服電機
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